SETO 1.60 Photochromic Lens SHMC

1) Vad är spin coating?

Spinnbeläggning är en procedur som används för att avsätta enhetliga tunna filmer på plana underlag.Vanligtvis appliceras en liten mängd beläggningsmaterial på mitten av substratet, som antingen snurrar med låg hastighet eller snurrar inte alls.Substratet roteras sedan med hastighet upp till 10 000 rpm för att sprida beläggningsmaterialet med centrifugalkraft.En maskin som används för spinnbeläggning kallas för en spin coater, eller helt enkelt spinner.
Rotationen fortsätter medan vätskan snurrar av kanterna på substratet, tills den önskade tjockleken på filmen uppnås.Det applicerade lösningsmedlet är vanligtvis flyktigt och avdunstar samtidigt.Ju högre vinkelhastighet för spinning, desto tunnare film.Tjockleken på filmen beror också på lösningens viskositet och koncentration samt lösningsmedlet.[2]Banbrytande teoretisk analys av spinnbeläggning genomfördes av Emslie et al., och har utökats av många efterföljande författare (inklusive Wilson et al.,[4] som studerade spridningshastigheten i spinnbeläggning; och Danglad-Flores et al., [5] som hittade en universell beskrivning för att förutsäga den avsatta filmtjockleken).
Spinnbeläggning används i stor utsträckning vid mikrotillverkning av funktionella oxidskikt på glas- eller enkristallsubstrat med användning av sol-gel-prekursorer, där den kan användas för att skapa enhetliga tunna filmer med tjocklek i nanoskala.[6]Den används intensivt i fotolitografi för att avsätta lager av fotoresist cirka 1 mikrometer tjocka.Fotoresist snurras vanligtvis med 20 till 80 varv per sekund i 30 till 60 sekunder.Det används också i stor utsträckning för tillverkning av plana fotoniska strukturer gjorda av polymerer.
En fördel med spinnbeläggning av tunna filmer är likformigheten i filmtjockleken.På grund av självnivellering varierar tjockleken inte mer än 1 %.Spinbeläggning av tjockare filmer av polymerer och fotoresist kan emellertid resultera i relativt stora kantpärlor vars planarisering har fysiska gränser.